利用带电荷的的阳离子在电场中加速后达到一定的动能特点，将离子引向预被溅镀的的物质制成的靶材电极（阴极），入射离子在与靶材表面原子的碰撞过程中，通过动量的转移，将后者溅射出来，这些被溅射出来的原子沿着一定的方向射向底材，从而实现物质的溅射沉积。
图：溅射示意图
溅射是高能轰击粒子（离子）与靶材原子间动能/动量的传递的结果。原因（证据）：
1）溅射产物粒子以一定的空间角发射，且与入射离子的方向有关；
2）单个入射粒子轰击出的产物粒子数与入射离子的能量/质量有关，且均可用弹性碰撞理论解释；
3）溅射产物粒子的平均速度远大于蒸发粒子的速度。
一、溅射的定义 利用带电荷的的阳离子在电场中加速后达到一定的动能特点，将离子引向预被溅镀的的物质制成的靶材电极...
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本文标题：溅射（Sputtering)
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