压电陶瓷应变 0.2%
响应速度：us级别
压电堆栈：分立式、共烧式
压电陶瓷堆栈：迟滞最大15%，通过闭环控制解决（PID）。
传感器：应变片（低成本）、光栅尺、电容传感器。
应用：压电主动减震基座、纳米位移台、
驱动方式：静态驱动（线性调整、低频、位置）、动态驱动（快反镜、点胶阀、高频率）。
机械放大机构：压电双晶片
压电陶瓷应变 0.2%
响应速度：us级别
压电堆栈：分立式、共烧式
压电陶瓷堆栈：迟滞最大15%，通过闭环控制解决（PID）。
传感器：应变片（低成本）、光栅尺、电容传感器。
应用：压电主动减震基座、纳米位移台、
驱动方式：静态驱动（线性调整、低频、位置）、动态驱动（快反镜、点胶阀、高频率）。
机械放大机构：压电双晶片
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本文标题：压电陶瓷在光学领域应用
本文链接：https://www.haomeiwen.com/subject/hvpnrktx.html
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