定义
AOI (Automatic Optic Inspection)自动光学检测,是基于光学原理对生产中遇到的常见缺陷进行检测的设备,是视觉检测中一个相对标准化的分支。AOI主要用在PCB。FPD。半导体等行业。
主要用途
1.确认生产制程是否完好,在线监控整个生产制造工艺的可行性和稳定性;
2.根据检测的结果来分辨平板显示器件良品与否,避免不良品流入下道工序;
3.对每道工序上的不良品进行复判,确认维修或者报废;
4.对维修后的不良品进行再次检测;
5.帮助研发和品质部门评价质量水平,改善制程工艺和流程;
6.对不良品分类加以解析,提升产线良品率。
PCB
内外层线路检测
在蚀刻工序之后进行检测
FPD
MURA缺陷检测
Color filter检测
色度、膜厚、光学密度检测
PI检测、LC液晶检测等
半导体
2D、3D检测
晶圆外观检测、bumping检查、IC封装检测
其他行业
Mircro crack检查等
LCD领域-Array、CF、Cell、Module端:
LCD产能全球向大陆转移,面板尺寸持续升级;
TP领域:主要包括Touch Sensor检测和ITO玻璃的AOI设备、BM AOI设备和Film AOI等;
OLED领域:OLED工序与LCD有部分差别,一条OLED先所需的AOI设备约为LCD线的1.5-2倍;
OLED良率低,对检测要求更高,检测设备单价平均增加20%-30%。
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